Siliziumtetrachlorid

Siliziumtetrachlorid (SiCl₄, CAS 10026-04-7) ist eine farblose bis blassgelbe rauchende Flüssigkeit, die heftig mit Feuchtigkeit reagiert und dichte weiße Dämpfe von Chlorwasserstoff freisetzt. Es siedet bei 57,65 Grad und ist in wasserfreien organischen Lösungsmitteln wie Benzol, Chloroform und Tetrachlorkohlenstoff frei löslich. Als wichtige Siliziumquelle wird SiCl₄ häufig bei der Herstellung von Vorformen für optische Fasern, Siliziumdioxid in Halbleiterqualität, Polysilizium und Organosiliziummonomeren verwendet. Es wird auch in CVD-Prozessen für SiO₂- und Si₃N₄-Dünnfilme sowie bei der Herstellung von pyrogener Kieselsäure und Silan-Haftvermittlern eingesetzt. Als ätzender Stoff eingestuft (UN 1818, Klasse 8, PG II); müssen unter trockenem Stickstoffschutz und streng isoliert von Wasser, Alkoholen und Basen gehandhabt werden.