Trichlorsilan

Trichlorsilan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) ist eine farblose, leicht flüchtige Flüssigkeit mit einem scharfen, erstickenden Chlorwasserstoffgeruch. Es siedet bei 31,8 Grad und reagiert heftig mit Feuchtigkeit. Es ist der wichtigste Rohstoff für den Siemens-Prozess zur Herstellung von hochreinem Polysilizium für Photovoltaik-Solarzellen und Halbleiterwafer. TCS wird auch häufig beim Silizium-Epitaxie-Wafer-Wachstum, bei der Organosilicium-Synthese (Silikonöle, Kautschuke, Harze, Haftvermittler), bei der CVD-Silizium-Dünnfilmabscheidung und als selektives Reduktionsmittel in der organischen Synthese eingesetzt. Erhältlich in Industriequalität (größer oder gleich 99,0 %) und Elektronikqualität (bis zu 9N Reinheit). Einstufung als wasserreaktiv und leicht entzündlich (UN 1295, Klasse 4.3+2.3, PG I) mit einem extrem breiten Explosionsbereich von 1,2 %–90,5 %; Nur unter streng wasserfreien Bedingungen mit trockenem Stickstoffschutz handhaben.